| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 占比(%) | 增减(万股) |
| 1 | 中国建设银行股份有限公司-南方信息创新混合型证券投资基金 | 流通A股 | 523.25 | 1.64 | 110.36 |
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| 2 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 流通A股 | 501.11 | 1.57 | 43.28 |
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| 3 | 中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金 | 流通A股 | 417.27 | 1.30 | -1.21 |
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| 4 | 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 流通A股 | 416.64 | 1.30 | 1.67 |
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| 5 | 招商银行股份有限公司-南方科创板3年定期开放混合型证券投资基金 | 流通A股 | 137.52 | 0.43 | |
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| 6 | 基本养老保险基金一六零六一组合 | 流通A股 | 134.01 | 0.42 | 61.93 |
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| 7 | 上海银行股份有限公司-中欧产业前瞻混合型证券投资基金 | 流通A股 | 125.00 | 0.39 | 5.00 |
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| 8 | 中国工商银行股份有限公司-中欧瑾和灵活配置混合型证券投资基金 | 流通A股 | 120.01 | 0.38 | -102.01 |
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| 9 | 中国工商银行股份有限公司-金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 流通A股 | 106.20 | 0.33 | 2.20 |
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| 10 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 52.08 | 0.16 | |
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机构持仓
截止2024-03-31，共29家主力机构（基金28家，保险公司0家，券商0家，社保1家，一般法人0家），持有中科飞测股票总计0.28亿股，占流通A股8.75%
其中，基金持仓与2023-12-31相比：增仓：13家，增持1814.78万股；减仓：9家，减持643.21万股；新出现在主力名单中：6家，持有208.84亿股；从主力名单中消失：161家，原持有1579.68亿股
| 截止：2024-03-31 |
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| 机构类型 | 家数 | 合计持股数(万股) | 合计持股占比 |
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| 其他流通股 | | 29199.17 | 91.25 |
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| 基金 | 28 | 2666.82 | 8.33 |
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| 社保 | 1 | 134.01 | 0.42 |
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